О создании ТС ИС100

[1500py073]

Вот отрывок из воспоминаний Лукановых, который возможно проливает свет, на обозночение ТС на наших первых микросхемах. Вот какое напутствие было Николаю Луканову от самого Малина:

– «С твоим дипломом ознакомился, впечатляет, но у нас нет проблемы с диффузией бора, у нас плохо идут процессы диффузии фосфора для коллекторных и эмиттерных областей. Этим и займёшься, но сразу на тестовых структурах изделия ИС100. С Тупицыным согласуешь методику измерения параметров. Диффузию бора можешь делать у Владимир Лементуева – твоего сокурсника. За диффузию фосфора из твёрдого источника отвечает нач. лаборатории Аркадий Самуилович Добкин. Выяснишь слабые места, придёшь ко мне с обоснованиями. Жду через месяц».

Я уже освоился с начальником и выдохнул: «А как же микромощные транзисторы?»

Он добавил: «На этих тестовых структурах (ТС) и будешь проверять работоспособность своих структур, в том числе, и в микроамперном режиме».

Кристалл ТС ИС100 на позолоченной рамке
для измерения ВАХ структур на кристалле помощью W зондов.

да про такие страсти мордасти не знал, советую всем почитать как во время оно всё начиналось. Очень любопытно.

Прошло время интенсивных творческих поисков, и вдруг некоторые из нас почувствовали на своей коже, что мелочей в ТБ нет и не должно быть. Это случилось летом 1965 года при новом начальнике лаборатории Александре Михайловиче Косогове, невольно оказавшемся вовлечённым в разыгравшиеся события. По коридору отдела шли несколько сотрудниц в белых халатах, кто-то из них нёс кварцевую колбу с плоским дном. В колбу, объёмом не менее литра, был залит жидкий диффузант PCl3, предназначенный для производственного участка. Вдруг все остановились и стали рассматривать колбу на просвет. Моя сестра Анна стала громко звать меня, с тревогой в голосе, говоря о каких-то выделяющихся пузырьках. Я быстро подбежал, поднял колбу к глазам, а она взяла и взорвалась у меня в руках. Клубы белого дыма заполнили весь коридор, видимость была почти нулевая, я направился вниз по лестнице к воде, кругом слышались встревоженные возгласы и недоуменные вопросы нового начальника. Потом последовала команда открыть все окна и покинуть помещения. Мне повезло, что дно было плоским – его выбило первым, как наиболее слабое звено, – в первые мгновения пробка, на моё счастье, выдержала давление, – пары и жидкость обожгли мне только ноги. Сестра Анна не растерялась, догнала меня и помогла смывать кислоту. Потом оказалось, что при заливке PCl3 в колбу с потолка вытяжного шкафа упал маленький кусочек твёрдой краски. После этого уже все заговорили о ТБ и заливать диффузант стали в специальном малом боксе в инертной атмосфере.

Позже весной 1966 года, работая уже в НИИМЭ, я узнал как погиб в Англии талантливый начальник лаборатории нашего института В.А. Стружинский – специалист по ионному легированию, трудолюбивый и внимательный человек. Он погиб от взрыва ампул с жидкими источниками диффузанта BBr3 в процессе смывания с них зарубежных этикеток. Погиб по причине нарушения элементарных правил ТБ. Он то уж точно, знал о взрыве PCl3 в отделе у Б.В. Малина. Остался открытым вопрос: “Зачем они к оборудованию закупили ещё и ампулы с BBr3?” Процессы диффузии бора с этим реагентом были уже внедрены у А.Ф. Трутко ещё летом в 1965 году, а в конце 1965 г. они уже применялись и при выпуске изделия «Плоскость» на предприятии «Компонент» в г. Зеленограде.

Статья целиком, правда в сокращённом виде. Нужно будет попробовать полной версией разжится.

Comments

[prostak-1982.livejournal.com]

От ТБ не спрятаться, не скрыться...

[1500py470.livejournal.com]

ТБ наше всё!

[ardelfi.livejournal.com]

> в процессе смывания с них зарубежных этикеток

Пример правильной защиты торговой марки. Непонятно лишь зачем было в Англии смывать зарубежные этикетки.
Кстати, микромодули с аналогичной деструктивной или античеловечной защитой в некоторых случаях востребованы -- чтобы и защищаемый объект необратимо испортить, и нехорошего человека напугать. Например, конфигурационную память FPGA или ROM процессора моментально не стереть, а ведь там всё.

[1500py470.livejournal.com]

Это явный пример нарушения ТБ. У нас позже как минимум в 70-80-е такими делами занимались специально обученные в АКРХИНе в Старой Купавне, а тут самодеятельность голимая :((

[saschechka.livejournal.com]

А я всегда говорил: "Потеря контроля, и атомное ядро само начнёт разлагаться!". Только вот о каком контроле идёт речь, это ещё вразумлять надо.

[klapaucy.livejournal.com]

Нда, вот так вот бывает... историю со Стружинским я в деталях не знал. То, что погиб по халатности, встречал только в виде слухов.
ГБ тогда, кстати, говорят, не слабо возбудилась по этому поводу - как же, погиб один из заметных разработчиков транзисторной темы, и где - за границей!! "Это ж-ж-ж неспроста", как говаривал Винни-Пух. Землю носом рыли, но в итоге пришли к тому, что злого вражьего умысла тут не было...

[klapaucy.livejournal.com]

А по ТС, я некогда переписывался с человеком, который тогда непосредственно был в группе разработчиков ея. Надеюсь, у меня та переписа не сгинула в пертурбации архивов...
Так у него было совершенное определённое мнение на этот счёт, "ТС" всегда значило "Твёрдая Схема". Чистая калька с английского.

[1500py470.livejournal.com]

Возможно в разных местах в ТС вкладывали разный смысл.
У него и в статье ТС значит то транзисторная структура, то тестовая структура.

[klapaucy.livejournal.com]

да, может быть у каждого своё было :))

[vspvsp.livejournal.com]

Ну ладно колба, но вон есть история, как радиоактивную жижу сливали и она бабахнула.

И про "смывание зарубежных этикеток" - отлично!

Ну что тут говорить - я на предприятиях нашего ВПК видел заклеенные шильдики иностранного измерительного оборудования (а то ж непатриотично), но оно ж, сцуко, при включении на весь экран пишет кем сделано!

В этой стране без героизма что-нибудь возможно, а?

И надо же, ТЗ, оказывается, нужно писать! Это они такие разговорчики на предприятии-разработчике мелкоэлектроники ведут?

[ikaktys.livejournal.com]

"Он погиб от взрыва ампул с жидкими источниками диффузанта BBr3 в процессе смывания с них зарубежных этикеток" - У BBr3 взрывная реакция с водой ... это каким.... оригиналом надо быть что б такое делать ?

[vspvsp.livejournal.com]

Так ведь "мы электронами занимаемся, химия нам ни к чему!".

Вот даже сабж - известно ведь, что некоторые вещества лучше плотно не закрывать, могут что-нибудь выделить при случае. А сотрудницы наверняка старательно заткнули - как же, внутри опасное вещество!

Или прикол с вакуумом - при высоком вакууме соблюдайте меры предосторожности чтобы что-то не взорвалось, при низком эти меры необязательны (ЗЫ: а вещества плотно закрытые ещё и поглотить что-нибудь могут).

[ikaktys.livejournal.com]

да вообще уже обращение с веществами которые должны быть хотя бы минимум "СпЧ" или даже часто минимум 6 "девяток" в вытяжном шкафу в котором осыпается старая краска, а потом удивляться что ничего не получается с полупроводниками, а в лучшем случае мизерабельное качество ...

[1500py470.livejournal.com]

На Микроне в отличии от республиканских заводов птички в чистых комнатах не жили. И результат у них был более предсказуемый.

[1500py470.livejournal.com]

СпЧ это спектрально чистый? У нас вроде на ОСЧ штатно маркировка чистых реактивов заканчивалась.

[ikaktys.livejournal.com]

ну для обычных хим лабораторий чище осч - 99.9% реактивов практически никогда не надо, спч - 99.999-99.9999%, а вот для полупроводников надо минимум 8 "девяток", а часто больше, до 10-12 "девяток". Оно с осыпающейся краской как то плохо сочетается.

[1500py470.livejournal.com]

СПЧ это спектрально или специально чистый? Это оф название с цветной полосой на этикетке или расширение как кол-во примесей органических и неорганических на ОСЧ после и/или перед названием?

[ikaktys.livejournal.com]

спектрально чистый, но оно уже для определенных областей применения, в основном неорганика

[1500py470.livejournal.com]

Аргон он спектральночистый упоминал в статье. Может и реактивы в институте были как минимум правильные, а на серийном производстве какие получатся.

[ikaktys.livejournal.com]

аргон проще всего почистить, он ни с чем не реагирует, выморозить перегнать да поглотить все кроме него, причем примеси остальных благородных газов тем более не помешают, а вот остальное, часто довольно агрессивное, что норовит сожрать аппаратуру и оператора вместе с ней - сложнее

[iime.livejournal.com]

Ну тоже проблема, если неплотно заткнуть - воды нахватает, потом опять чистить.
Ловушечку с осушителем могли поставить. Но это потом понимаешь, тем более вряд ли их муштровали жестко по ТБ, как химиков.

Но вообще разные случаи бывают.