О создании ТС ИС100
May. 10th, 2017 07:30 am![[personal profile]](https://www.dreamwidth.org/img/silk/identity/user.png){kind=small}
1500py073Вот отрывок из воспоминаний Лукановых, который возможно проливает свет, на обозночение ТС на наших первых микросхемах. Вот какое напутствие было Николаю Луканову от самого Малина:
– «С твоим дипломом ознакомился, впечатляет, но у нас нет проблемы с диффузией бора, у нас плохо идут процессы диффузии фосфора для коллекторных и эмиттерных областей. Этим и займёшься, но сразу на тестовых структурах изделия ИС100. С Тупицыным согласуешь методику измерения параметров. Диффузию бора можешь делать у Владимир Лементуева – твоего сокурсника. За диффузию фосфора из твёрдого источника отвечает нач. лаборатории Аркадий Самуилович Добкин. Выяснишь слабые места, придёшь ко мне с обоснованиями. Жду через месяц».
Я уже освоился с начальником и выдохнул: «А как же микромощные транзисторы?»
Он добавил: «На этих тестовых структурах (ТС) и будешь проверять работоспособность своих структур, в том числе, и в микроамперном режиме».
Кристалл ТС ИС100 на позолоченной рамке
для измерения ВАХ структур на кристалле помощью W зондов.
да про такие страсти мордасти не знал, советую всем почитать как во время оно всё начиналось. Очень любопытно.
Прошло время интенсивных творческих поисков, и вдруг некоторые из нас почувствовали на своей коже, что мелочей в ТБ нет и не должно быть. Это случилось летом 1965 года при новом начальнике лаборатории Александре Михайловиче Косогове, невольно оказавшемся вовлечённым в разыгравшиеся события. По коридору отдела шли несколько сотрудниц в белых халатах, кто-то из них нёс кварцевую колбу с плоским дном. В колбу, объёмом не менее литра, был залит жидкий диффузант PCl3, предназначенный для производственного участка. Вдруг все остановились и стали рассматривать колбу на просвет. Моя сестра Анна стала громко звать меня, с тревогой в голосе, говоря о каких-то выделяющихся пузырьках. Я быстро подбежал, поднял колбу к глазам, а она взяла и взорвалась у меня в руках. Клубы белого дыма заполнили весь коридор, видимость была почти нулевая, я направился вниз по лестнице к воде, кругом слышались встревоженные возгласы и недоуменные вопросы нового начальника. Потом последовала команда открыть все окна и покинуть помещения. Мне повезло, что дно было плоским – его выбило первым, как наиболее слабое звено, – в первые мгновения пробка, на моё счастье, выдержала давление, – пары и жидкость обожгли мне только ноги. Сестра Анна не растерялась, догнала меня и помогла смывать кислоту. Потом оказалось, что при заливке PCl3 в колбу с потолка вытяжного шкафа упал маленький кусочек твёрдой краски. После этого уже все заговорили о ТБ и заливать диффузант стали в специальном малом боксе в инертной атмосфере.
Позже весной 1966 года, работая уже в НИИМЭ, я узнал как погиб в Англии талантливый начальник лаборатории нашего института В.А. Стружинский – специалист по ионному легированию, трудолюбивый и внимательный человек. Он погиб от взрыва ампул с жидкими источниками диффузанта BBr3 в процессе смывания с них зарубежных этикеток. Погиб по причине нарушения элементарных правил ТБ. Он то уж точно, знал о взрыве PCl3 в отделе у Б.В. Малина. Остался открытым вопрос: “Зачем они к оборудованию закупили ещё и ампулы с BBr3?” Процессы диффузии бора с этим реагентом были уже внедрены у А.Ф. Трутко ещё летом в 1965 году, а в конце 1965 г. они уже применялись и при выпуске изделия «Плоскость» на предприятии «Компонент» в г. Зеленограде.
Статья целиком, правда в сокращённом виде. Нужно будет попробовать полной версией разжится.
– «С твоим дипломом ознакомился, впечатляет, но у нас нет проблемы с диффузией бора, у нас плохо идут процессы диффузии фосфора для коллекторных и эмиттерных областей. Этим и займёшься, но сразу на тестовых структурах изделия ИС100. С Тупицыным согласуешь методику измерения параметров. Диффузию бора можешь делать у Владимир Лементуева – твоего сокурсника. За диффузию фосфора из твёрдого источника отвечает нач. лаборатории Аркадий Самуилович Добкин. Выяснишь слабые места, придёшь ко мне с обоснованиями. Жду через месяц».
Я уже освоился с начальником и выдохнул: «А как же микромощные транзисторы?»
Он добавил: «На этих тестовых структурах (ТС) и будешь проверять работоспособность своих структур, в том числе, и в микроамперном режиме».
Кристалл ТС ИС100 на позолоченной рамке
для измерения ВАХ структур на кристалле помощью W зондов.
да про такие страсти мордасти не знал, советую всем почитать как во время оно всё начиналось. Очень любопытно.
Прошло время интенсивных творческих поисков, и вдруг некоторые из нас почувствовали на своей коже, что мелочей в ТБ нет и не должно быть. Это случилось летом 1965 года при новом начальнике лаборатории Александре Михайловиче Косогове, невольно оказавшемся вовлечённым в разыгравшиеся события. По коридору отдела шли несколько сотрудниц в белых халатах, кто-то из них нёс кварцевую колбу с плоским дном. В колбу, объёмом не менее литра, был залит жидкий диффузант PCl3, предназначенный для производственного участка. Вдруг все остановились и стали рассматривать колбу на просвет. Моя сестра Анна стала громко звать меня, с тревогой в голосе, говоря о каких-то выделяющихся пузырьках. Я быстро подбежал, поднял колбу к глазам, а она взяла и взорвалась у меня в руках. Клубы белого дыма заполнили весь коридор, видимость была почти нулевая, я направился вниз по лестнице к воде, кругом слышались встревоженные возгласы и недоуменные вопросы нового начальника. Потом последовала команда открыть все окна и покинуть помещения. Мне повезло, что дно было плоским – его выбило первым, как наиболее слабое звено, – в первые мгновения пробка, на моё счастье, выдержала давление, – пары и жидкость обожгли мне только ноги. Сестра Анна не растерялась, догнала меня и помогла смывать кислоту. Потом оказалось, что при заливке PCl3 в колбу с потолка вытяжного шкафа упал маленький кусочек твёрдой краски. После этого уже все заговорили о ТБ и заливать диффузант стали в специальном малом боксе в инертной атмосфере.
Позже весной 1966 года, работая уже в НИИМЭ, я узнал как погиб в Англии талантливый начальник лаборатории нашего института В.А. Стружинский – специалист по ионному легированию, трудолюбивый и внимательный человек. Он погиб от взрыва ампул с жидкими источниками диффузанта BBr3 в процессе смывания с них зарубежных этикеток. Погиб по причине нарушения элементарных правил ТБ. Он то уж точно, знал о взрыве PCl3 в отделе у Б.В. Малина. Остался открытым вопрос: “Зачем они к оборудованию закупили ещё и ампулы с BBr3?” Процессы диффузии бора с этим реагентом были уже внедрены у А.Ф. Трутко ещё летом в 1965 году, а в конце 1965 г. они уже применялись и при выпуске изделия «Плоскость» на предприятии «Компонент» в г. Зеленограде.
Статья целиком, правда в сокращённом виде. Нужно будет попробовать полной версией разжится.
